[发明专利]一种铝合金反射镜表面超快激光清洗的方法及装置在审

专利信息
申请号: 201910802878.X 申请日: 2019-08-28
公开(公告)号: CN110523715A 公开(公告)日: 2019-12-03
发明(设计)人: 胡皓;彭小强;赵陶;戴一帆;关朝亮 申请(专利权)人: 中国人民解放军国防科技大学
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00
代理公司: 43008 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 代理人: 谭武艺<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 410073 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明涉及光学元件的超精密抛光后处理领域,具体涉及一种铝合金反射镜表面超快激光清洗的方法及装置,本发明方法针对待清洗工件对应的铝合金基体和铝合金氧化膜进行光热吸收实验,记录铝合金氧化膜的光热吸收率大于铝合金光热吸收率的波长范围;通过波长在波长范围内的激光器对待清洗工件的铝合金反射镜表面发射脉冲激光扫描待清洗表面,从而完成对待清洗工件的铝合金反射镜表面的清洗;装置包括激光器、扩束镜、反射镜、扫描振镜以及场镜。本发明能够在不损伤表面的前提下去除铁元素污染,大大提高表面的反射率,提升其使用性能。
搜索关键词: 铝合金 反射镜表面 波长 吸收率 铝合金氧化膜 清洗工件 激光器 光热 清洗 发射脉冲激光 超精密抛光 待清洗工件 铝合金基体 后处理 超快激光 光热吸收 光学元件 清洗表面 扫描振镜 使用性能 反射镜 反射率 扩束镜 场镜 除铁 扫描 损伤 记录 污染
【主权项】:
1.一种铝合金反射镜表面超快激光清洗的方法,其特征在于实施步骤包括:/n1)针对待清洗工件对应的铝合金基体和铝合金氧化膜进行光热吸收实验,记录铝合金氧化膜的光热吸收率大于铝合金光热吸收率的波长范围;/n2)通过波长在所述波长范围内的激光器对待清洗工件的铝合金反射镜表面发射脉冲激光扫描待清洗表面,从而完成对待清洗工件的铝合金反射镜表面的清洗。/n
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