[发明专利]维恩过滤器和带电粒子束成像设备有效
| 申请号： | 201910803331.1 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN110660633B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 孟庆浪;孙伟强;赵焱 | 申请（专利权）人： | 中科晶源微电子技术（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 提供维恩过滤器、和带电粒子束成像设备，维恩过滤器包括：静电偏转器，包括至少一对成对对置电极，每个电极包括构造为圆弧形的电极主体，每对成对对置电极各自的电极主体呈同心布置且在直径方向上相对置，所述至少一对成对对置电极配置成在分别被施加偏置电压的情况下协同工作产生各自电场；和磁偏转器，包括至少一对成对对置磁极，每个磁极包括构造为圆弧形的磁极主体，每对成对对置磁极各自的磁极主体呈同心布置且在直径方向上相对置、且也与所述静电偏转器的所述至少一对成对对置电极各自的电极主体同心布置且在周向间隔开，所述至少一对成对对置磁极配置成产生各自磁场；合成电场垂直于合成磁场；每个电极还具备从其电极主体径向内侧向内突伸的第一凸出部，且每个磁极也还具备从其磁极主体径向内侧向内突伸的第二凸出部。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤器 带电 粒子束 成像 设备 | ||
【主权项】：
1.一种维恩过滤器，包括维恩过滤器主体，所述维恩过滤器主体包括：/n静电偏转器，包括至少一对成对对置电极，每个电极包括构造为圆弧形的电极主体，每对成对对置电极各自的电极主体呈同心布置且在直径方向上相对置，所述至少一对成对对置电极配置成在分别被施加偏置电压的情况下协同工作产生各自电场；和/n磁偏转器，包括至少一对成对对置磁极，每个磁极包括构造为圆弧形的磁极主体，每对成对对置磁极各自的磁极主体呈同心布置且在直径方向上相对置、且也与所述静电偏转器的所述至少一对成对对置电极各自的电极主体同心布置且在周向间隔开，所述至少一对成对对置磁极配置成产生各自磁场，/n其中，/n合成电场垂直于合成磁场；且/n每个电极还具备从其电极主体径向内侧向内突伸的第一凸出部，且每个磁极也还具备从其磁极主体径向内侧向内突伸的第二凸出部。/n
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