[发明专利]用于带电粒子束的多极型偏转器和带电粒子束成像设备有效
| 申请号： | 201910803416.X | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN110660634B | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 孟庆浪;孙伟强;赵焱 | 申请（专利权）人： | 中科晶源微电子技术（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种用于带电粒子束的多极型偏转器、和一种带电粒子束成像设备。所述用于带电粒子束的多极型偏转器，包括：至少两对极部，每对极部中每个包括构造为呈圆弧形的主体，且每对极部的所述主体同心布置并且在直径方向上相对，且每个极部还具备从所述主体径向内侧向内突伸的凸出部，所述至少两对极部包围限定轴向敞开的通孔，所述通孔配置成用于通过待由所述偏转器偏转的所述带电粒子束，其中，所述偏转器的所述至少两对极部配置成协同工作以产生偏转所述带电粒子束的偏转场，所述偏转场分布于所述通孔内。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 带电 粒子束 多极 偏转 成像 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于带电粒子束的多极型偏转器，包括：/n至少两对极部，每对极部中每个包括构造为呈圆弧形的主体，且每对极部的所述主体同心布置并且在直径方向上相对，且每个极部还具备从所述主体径向内侧向内突伸的凸出部，所述至少两对极部包围限定轴向敞开的通孔，所述通孔配置成用于通过待由所述偏转器偏转的所述带电粒子束，/n其中，所述偏转器的所述至少两对极部配置成协同工作以产生偏转所述带电粒子束的偏转场，所述偏转场分布于所述通孔内。/n
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