[发明专利]一种叠层磁性薄膜及其制备方法有效
申请号: | 201910803515.8 | 申请日: | 2019-08-28 |
公开(公告)号: | CN110444364B | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 周国云;李晓璇;张伟豪;何为;王守绪;陈苑明;洪延;王翀;杨文君 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | H01F10/14 | 分类号: | H01F10/14;H01F10/16;H01F27/24;H01F41/14;H01F41/26;H01F41/02 |
代理公司: | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人: | 葛启函 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明涉及一种叠层磁性薄膜,包括2n层磁芯结构,n为正整数,且n≥1,所述2n层磁芯结构包括交替设置的Ni‑Co磁芯层和Ni‑Fe‑W磁芯层。本发明通过依次连续设置的软磁Ni‑Fe‑W合金和Ni‑Co合金,来提高磁芯薄膜磁性能,从而获得高磁性且损耗不会过大的叠层磁性薄膜,以便有效提升电感元件的电感值,保证较高的品质因子和磁芯薄膜稳定性。该制备工艺简单、可靠性强、生产成本低,有利于产业化发展。此外,本发明还涉及一种叠层磁性薄膜的制备方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 磁性 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种叠层磁性薄膜,包括2n层磁芯结构,n为正整数,且n≥1,其特征在于,所述2n层磁芯结构包括交替设置的Ni‑Co磁芯层(2)和Ni‑Fe‑W磁芯层(3)。
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