[发明专利]一种叠层磁性薄膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910803515.8 申请日: 2019-08-28
公开(公告)号: CN110444364B 公开(公告)日: 2021-03-30
发明(设计)人: 周国云;李晓璇;张伟豪;何为;王守绪;陈苑明;洪延;王翀;杨文君 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: H01F10/14 分类号: H01F10/14;H01F10/16;H01F27/24;H01F41/14;H01F41/26;H01F41/02
代理公司: 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 代理人: 葛启函
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明涉及一种叠层磁性薄膜,包括2n层磁芯结构,n为正整数,且n≥1,所述2n层磁芯结构包括交替设置的Ni‑Co磁芯层和Ni‑Fe‑W磁芯层。本发明通过依次连续设置的软磁Ni‑Fe‑W合金和Ni‑Co合金,来提高磁芯薄膜磁性能,从而获得高磁性且损耗不会过大的叠层磁性薄膜,以便有效提升电感元件的电感值,保证较高的品质因子和磁芯薄膜稳定性。该制备工艺简单、可靠性强、生产成本低,有利于产业化发展。此外,本发明还涉及一种叠层磁性薄膜的制备方法。
搜索关键词: 一种 磁性 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种叠层磁性薄膜,包括2n层磁芯结构,n为正整数,且n≥1,其特征在于,所述2n层磁芯结构包括交替设置的Ni‑Co磁芯层(2)和Ni‑Fe‑W磁芯层(3)。
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