[发明专利]金字塔快速制绒液及其制绒方法和硅片制品有效
申请号: | 201910804426.5 | 申请日: | 2019-08-28 |
公开(公告)号: | CN112442739B | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 吴俊桃;刘尧平;陈伟;赵燕;陈全胜;唐旱波;王燕;杜小龙 | 申请(专利权)人: | 松山湖材料实验室 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10;C30B29/06;C23F1/24;H01L31/0236;H01L31/18 |
代理公司: | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人: | 刘晓敏 |
地址: | 523000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种金字塔快速制绒液及其制绒方法和硅片制品,所述金字塔快速制绒液主要成分包括有银离子源、铜离子源、氟离子源、氧化剂和去离子水。采用上述金字塔快速制绒液可以在室温条件下快速地对硅片表面制绒,可以在极短时间内在硅片表面上形成独立、完整、均匀且紧密排布的正金字塔绒面结构,结构尺寸为0.5μm~2μm,其表面反射率在8%~20%之间,与现有产线金字塔结构相比尺寸小,塔尖圆滑,且分布更加均匀,非常有利于背抛及钝化,特别适合现有的PERC、HIT、IBC等高效电池结构。本发明提供的金字塔制绒方法整体反应时间控制在5min以内,可以极大地降低时间成本和设备成本,利于广泛推广应用。 | ||
搜索关键词: | 金字塔 快速 制绒液 及其 方法 硅片 制品 | ||
【主权项】:
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