[发明专利]显影喷嘴装置、显影设备及显影液喷嘴的清洁方法在审
| 申请号： | 201910805851.6 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN112445085A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 董佳仁 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;B05B15/55 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种显影喷嘴装置、显影设备及显影液喷嘴的清洁方法，显影喷嘴装置包括至少一显影液喷嘴，所述显影液喷嘴具有喷口；至少一抽气管路，具有抽气口，所述抽气口对应所述喷口设置，所述抽气管路用于当所述喷口存在残留液滴时进行抽气，以使所述抽气口吸入所述残留液滴。本发明的优点在于，当所述显影液喷嘴喷洒显影液完毕后，开启所述抽气管路，所述抽气管路能够将所述喷口处残留的液滴吸入所述抽气口，从而避免所述喷口处残留的液滴滴落至晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 喷嘴 装置 设备 显影液 清洁 方法 | ||
【主权项】：
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