[发明专利]半导体设备的监控方法和装置、存储介质、计算机设备在审
| 申请号： | 201910805852.0 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN112446978A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G07C3/14 | 分类号： | G07C3/14;G07C3/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;高德志 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种半导体设备的监控方法和装置、存储介质、计算机设备所述监控方法，包括：收集工艺制程中的第一关键参数；收集非工艺制程中的第二关键参数；监控第一关键参数是否存在异常；监控第二关键参数是否存在异常；若第一关键参数和/或第二关键参数存在异常，则发出报警。本发明不仅对工艺过程中的第一关键参数进行监控，而且通过收集非制程工艺中的第二关键参数，对第二关键参数进行监控，从而可以有效改善工艺制程或工艺设备中的关键参数的传感器显示值与实际值存在偏移，不易被及时监控的问题，减少产出不良品的概率，进而增加产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 监控 方法 装置 存储 介质 计算机 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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