[发明专利]一种低空气阻尼MEMS压电式麦克风在审
| 申请号： | 201910806852.2 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN110475191A | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;林炳辉;吴志鹏;胡博豪;王磊;朱伟;周禹 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 42222 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 吴艳姣<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种低空气阻尼MEMS压电式麦克风，包括具有空腔的晶圆衬底和多个具有压电叠层结构的悬臂梁，所述悬臂梁包括设置在晶圆衬底顶面的固定端和悬置于空腔上方的自由端，相邻的悬臂梁之间均设置有间隙，且相邻悬臂梁的自由端均连接有能使悬臂梁同步振动的柔性弹性件，所述悬臂梁上设置有与所述空腔相通的孔口。本发明通过增设压电式麦克风与空腔相贯通的孔口，减小了悬臂梁振动时空气阻尼的影响，提高了麦克风的信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 空腔 压电式麦克风 空气阻尼 自由端 衬底 晶圆 孔口 柔性弹性件 空腔相通 同步振动 相邻悬臂 压电叠层 麦克风 固定端 信噪比 减小 贯通 增设 | ||
【主权项】：
1.一种低空气阻尼MEMS压电式麦克风，包括具有空腔的晶圆衬底和多个具有压电叠层结构的悬臂梁，所述悬臂梁包括设置在晶圆衬底顶面的固定端和悬置于空腔上方的自由端，其特征在于：相邻的悬臂梁之间均设置有间隙，且相邻悬臂梁的自由端均连接有能使悬臂梁同步振动的柔性弹性件，所述悬臂梁上设置有与所述空腔相通的孔口。/n
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