[发明专利]用于测量多层结构的层之间叠对的技术有效
| 申请号： | 201910808592.2 | 申请日： | 2016-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN110647012B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 达尼·辛格·拉陶斯;雅科夫·温伯格;伊谢·施瓦茨班德;罗马·克里斯;伊塔亚·克钦;兰·戈德曼;奥尔加·诺瓦克;奥弗·阿丹;希蒙·利维 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/11;G03F1/44;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于确定多层结构的层之间叠对的方法，该方法可包含以下步骤：得到代表多层结构的给定影像、得到用于多层结构的层的预期影像、提供多层结构的结合的预期影像为所述层的预期影像的结合、执行给定影像相对于结合的预期影像的配准、及提供给定影像的分割从而产生分割的影像和所述多层结构的层的图像。所述方法可进一步包含以下步骤：通过一起处理多层结构的任何两个选择的层的图像和所述两个选择的层的预期影像来确定所述两个选择的层之间的叠对。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 多层 结构 之间 技术 | ||
【主权项】：
1.一种用于确定多层结构的层间叠对的方法，所述方法包含以下步骤：/n得到代表所述多层结构的给定影像；/n得到所述多层结构的层的预期影像；/n基于所述预期影像产生所述多层结构的结合的预期影像；/n将所述给定影像相对于所述结合的预期影像配准；/n产生关于所述给定影像的分割数据；/n计算所述多层结构的两个层之间的叠对测量；以及/n基于所计算的所述叠对测量校正所述分割数据。/n
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