[发明专利]半导体产品良品率极值计算方法及其极值计算系统有效
| 申请号： | 201910808747.2 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN110516807B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 陆晶晶;俞微;陈旭 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G06N3/126 | 分类号： | G06N3/126;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 焦天雷 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于遗传算法实现的半导体产品良品率极值计算方法，包括对半导体产品生产过程中的所有生产机台编号；定义半导体产品计算个体；每个半导体产品计算个体包括：多个生产工艺相同且过货路径相同的半导体产品；根据生产机台编号对所有半导体产品计算个体的过货路径编码；通过指定的适应度函数计算每个半导体产品计算个体的适应度；赋值选择算子、交叉算子和变异算子；建立遗传算法模型；将计算周期内，半导体产品计算个体过货路径编码、各机台数据和适应度作为输入值带入遗传算法模型执行预设次数进化，将适应度最高的半导体产品计算个体良品率作为良品率上限。本发明还公开了一种基于遗传算法实现的半导体产品良品率极值计算系统。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 产品 良品率 极值 计算方法 及其 计算 系统 | ||
【主权项】：
1.一种半导体产品良品率极值计算方法，基于遗传算法实现，其特征在于，包括以下步骤：/nS1，对半导体产品生产过程中的所有生产机台编号；/nS2，定义半导体产品计算个体；/n每个半导体产品计算个体包括：多个生产工艺相同且过货路径相同的半导体产品；过货路径是半导体生产过程中，该半导体产品经过所有生产机台所形成的路径；/nS3，根据生产机台编号对所有半导体产品计算个体的过货路径编码；/nS4，通过指定的适应度函数计算每个半导体产品计算个体的适应度；/nS5，赋值选择算子；/nS6，赋值交叉算子；/nS7，赋值变异算子；/nS8，建立遗传算法模型；/nS9，将计算周期内，每个工艺步骤每个机台编号转换为预设位数的二进制编码,赋予半导体产品计算个体完整过货路径编码和适应度作为输入值带入步骤S8的遗传算法模型执行预设次数进化，将适应度最高的半导体产品计算个体良品率作为良品率上限。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力集成电路制造有限公司，未经上海华力集成电路制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910808747.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：神经网络参数矩阵的稀疏化方法和装置
- 下一篇：一种知识表示模型的创建方法
