[发明专利]一种蒸镀坩埚和蒸镀设备在审
| 申请号： | 201910809807.2 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN110344004A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 姚祥 | 申请（专利权）人： | 上海天马有机发光显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 200120 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种蒸镀坩埚和蒸镀装置，该蒸镀坩埚包括：坩埚主体；防爆沸板，设置于坩埚主体的开口处，或者设置于坩埚主体内且靠近坩埚主体的开口的预设位置处；防爆沸板与坩埚主体的侧壁之间存在间隙，且防爆沸板与坩埚主体的底部之间存在间隙；掩模体，掩模体朝向坩埚主体的一侧固定在防爆沸板背离坩埚主体的一侧；坩埚盖，盖合于坩埚主体的开口处，且与防爆沸板之间存在容纳空间；坩埚盖包括蒸镀口，蒸镀口与坩埚主体的开口连通；掩模体背离坩埚主体的一侧在防爆沸板上的垂直投影位于蒸镀口在防爆沸板上的垂直投影内，掩模体背离坩埚主体的一侧与蒸镀口之间的垂直距离小于或等于预设值。本发明实施例提供的技术方案，可改善膜厚均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚主体 防爆 蒸镀 掩模体 坩埚 垂直投影 开口处 坩埚盖 背离 开口 膜厚均匀性 垂直距离 容纳空间 预设位置 蒸镀设备 蒸镀装置 侧壁 盖合 预设 连通 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：坩埚主体；防爆沸板，设置于所述坩埚主体的开口处，或者设置于所述坩埚主体内且靠近所述坩埚主体的开口的预设位置处；所述防爆沸板与所述坩埚主体的侧壁之间存在间隙，且所述防爆沸板与所述坩埚主体的底部之间存在间隙；掩模体，所述掩模体朝向所述坩埚主体的一侧固定在所述防爆沸板背离所述坩埚主体的一侧；坩埚盖，盖合于所述坩埚主体的开口处，且与所述防爆沸板之间存在容纳空间；所述坩埚盖包括蒸镀口，所述蒸镀口与所述坩埚主体的开口连通；所述掩模体背离所述坩埚主体的一侧在所述防爆沸板上的垂直投影位于所述蒸镀口在所述防爆沸板上的垂直投影内，所述掩模体背离所述坩埚主体的一侧与所述蒸镀口之间的垂直距离小于或等于预设值。
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