[发明专利]米级大口径光学元件CO2

摘要

本发明涉及一种米级大口径光学元件CO2激光抛光装置。将光学元件在工作台作匀速运动的基础上，通过激光穿过支架上的孔洞，经反射镜将光束传递到由振镜和聚焦镜组成的振镜系统实现对光学元件的加工，支架上设有一体的反射镜、振镜、聚焦镜在激光从孔洞入射的方向作直线运动，不会因振镜系统的运动而影响光路传输，从而很好实现由工作台运动与振镜系统运动组成的运动轨迹粗定位，振镜系统自身的运动实现对运动轨迹的精定位。本发明的装置通过螺旋形加工轨迹方式且改变参数对光学元件进行扫描，通过熔融、气化组合方式实现对光学元件表面的抛光。本发明的装置可以实现米级以上直线或圆周运动。