[发明专利]一种带有旋转电极驱动的离子束刻蚀机

摘要

本发明属于离子束刻蚀机技术领域，尤其是一种带有旋转电极驱动的离子束刻蚀机，包括腔盖、伺服电机、下电极旋转轴、下电极，腔盖的中心位置设置有旋转轴定子，下电极旋转轴贯穿旋转轴定子，位于腔盖外侧的下电极旋转轴上设置有蜗轮，伺服电机的动力输出端上设有蜗杆，通过蜗轮和蜗杆的传动，带动下电极转动。本发明重量很轻，无需设置单独的支架支撑，且不需要配重辅助，减少了伺服电机的重量和所占空间，省掉了配重的重量及所占空间，省掉了支架的重量及其所占空间，且功率较小的伺服电机相对成本较低，且省掉了配重及支架的成本。

主权项

1.一种带有旋转电极驱动的离子束刻蚀机，包括腔盖（003）、伺服电机（004）、下电极旋转轴（006）、下电极（007），下电极旋转轴（006）贯穿腔盖（003），下电极（007）固定于下电极旋转轴（006）上，伺服电机（004）安装于腔盖（003）上，下电极（007）位于腔盖（003）朝向腔室的一侧，伺服电机（004）位于腔盖（003）外侧，其特征在于：所述腔盖（003）的中心位置设置有旋转轴定子（014），下电极旋转轴（006）贯穿旋转轴定子（014），位于腔盖（003）外侧的下电极旋转轴（006）上设置有蜗轮（011），伺服电机（004）的动力输出端上设有蜗杆（012），蜗杆（012）与蜗轮（011）相互啮合。