[发明专利]一种多自由度精密控制平台

摘要

本发明公开了一种多自由度精密控制平台，包括：精密六维并联定位台(1)、X向直线导轨(2)、Y向直线导轨(3)、Z向直线导轨(4)、六轴并联定位台控制器(5)、直线导轨控制器(6)、电源控制箱(7)和主控计算机(8)。采用X向精密直线导轨(2)、Y向精密直线导轨(3)和Z向精密直线导轨(4)进行大范围调整运动，定位精度优于20μm，采用精密六并联定位台(1)进行高精密位置调整，定位精度优于100nm。本发明采用宏微结合的方式实现对工件的精密定位。

主权项

1.一种多自由度精密控制平台，其特征在于，其包括：精密六维并联定位台(1)、X向直线导轨(2)、Y向直线导轨(3)、Z向直线导轨(4)、精密六维并联定位台控制器(5)、直线导轨控制器(6)、电源控制箱(7)以及主控计算机(8)；其中，主控计算机(8)获取目标位置信息(x，y，z，θx，θy，θz)，并将所获目标位置(x，y，z，θx，θy，θz)与当前位置(x₀，y₀，z₀，θx₀，θy₀，θz₀)相减得到所需运动量(x‑x₀,y‑y₀,z‑z₀，θx‑θx₀，θy‑θy₀，θz‑θz₀)，根据直线导轨定位精度分解得到三个方向直线导轨的运动量(x‑x₀‑x_δ，y‑y₀‑y_δ，z‑z₀‑z_δ)和精密六维并联定位台(1)的运动量(x_δ，y_δ，z_δ，θx‑θx₀，θy‑θy₀，θz‑θz₀)；主控计算机(8)向X向直线导轨(2)发送运动命令、其运动量为(x‑x₀‑x_δ)，主控计算机(8)向Y向直线导轨(3)发送运动命令、其运动量为(y‑y₀‑y_δ)，主控计算机(8)向Z向直线导轨(4)发送运动命令、其运动量为(z‑z₀‑z_δ)，主控计算机(8)向精密六维并联定位台(1)发送运动命令，所述运动量为(x_δ，y_δ，z_δ，θx‑θx₀，θy‑θy₀，θz‑θz₀)；其中，(θx，θy，θz)是目标位置的俯仰、偏摆和旋转信息；(θx₀，θy₀，θz₀)为当前位置的俯仰、偏摆和旋转信息；(x_δ，y_δ，z_δ)为精密六并联定位台在X、Y、Z三个方向上的运动信息；所述目标在X、Y、Z三个方向上的运动量为(x‑x₀,y‑y₀,z‑z₀)，X、Y、Z三个方向的直线运动量为直线导轨运动量(x‑x₀‑x_δ,y‑y₀‑y_δ,z‑z₀‑z_δ)和精密六并联定位台运动量(x_δ，y_δ，z_δ)之和；对于俯仰、偏摆和旋转偏差由精密六并联定位台执行；精密六并联定位台对俯仰、偏摆和旋转的运动量为(θx‑θx₀，θy‑θy₀，θz‑θz₀)。