[发明专利]压电微机械超声换能器及其制造方法有效
| 申请号： | 201910813665.7 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN111151431B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 钱优;H·坎帕内拉-皮涅达;R·库马尔 | 申请（专利权）人： | 新加坡商世界先进积体电路私人有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及压电微机械超声换能器及其制造方法。根据各种实施例，PMUT器件可包括：晶片；包括压电叠层的有源层；中间层，该中间层中具有空腔，其中中间层设置在晶片和有源层之间，使得空腔邻接压电叠层。过孔可以被形成为穿过有源层和中间层而到达晶片。金属层可被设置在有源层之上和过孔表面之上。中间层可包括围绕空腔的插入材料，并且可以还包括围绕过孔的牺牲材料。牺牲材料可以与插入材料不同。金属层可包括：第一构件，其至少基本上与压电叠层重叠；第二构件，其从第一构件延伸到空腔；以及第三构件，其延伸到有源层中以接触其中的电极。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 微机 超声 换能器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新加坡商世界先进积体电路私人有限公司，未经新加坡商世界先进积体电路私人有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910813665.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
