[发明专利]一种大功率程控固态微波设备在审
| 申请号： | 201910813778.7 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN110620322A | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 马文东;朱梁;吴则革;赵连敏;单家芳;刘甫坤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H01S1/02 | 分类号： | H01S1/02;C23C16/517 |
| 代理公司： | 34112 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张果果 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大功率程控固态微波设备，包含有微波锁相功率源，功分器，支路微波功率放大器，微波功率径向合路器，波导定向耦合器，控制设备，供电电源，水冷设备。微波锁相功率源输出稳定的微波信号，经过功分器，分别进入多支路微波功率放大器，放大后的微波信号通过微波功率径向合成器合成，波导同轴转换将同轴结构转换为波导结构，合成的微波功率经过波导馈入MPCVD反应腔。本发明采用程控固态微波设备作为MPCVD装置的微波功率源，便于实时控制，可以根据需要调节频率、功率和相位，使反应腔始终处于匹配状态，确保反应微波功率稳定，简化反应腔的调谐结构，可以提高金刚石膜的均匀度，提高金刚石膜的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 微波功率 反应腔 微波功率放大器 固态微波 金刚石膜 微波信号 功分器 功率源 微波 程控 合成 波导定向耦合器 调谐 微波功率源 支路 波导结构 供电电源 控制设备 匹配状态 实时控制 输出稳定 水冷设备 同轴结构 波导馈 多支路 合成器 合路器 均匀度 转换 波导 同轴 放大 | ||
【主权项】：
1.一种大功率程控固态微波设备，其特征在于：包括有微波锁相功率源、功分器、支路微波功率放大模块、微波功率径向合成器、波导定向耦合器和控制设备，微波锁相功率源输出的微波信号，经过功分器后，分别进入多个支路微波功率放大模块中，多个支路微波功率放大模块将多路微波信号放大后通过微波功率径向合成器合成，波导同轴转换将同轴结构转换为波导结构，合成的微波功率通过波导定向耦合器测量输出功率和反射功率，所述的微波锁相功率源、支路微波功率放大模块和波导定向耦合器均与控制设备连接。/n
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