[发明专利]一种利用能谱分析无损检测试样膜厚的方法

摘要

本发明公开了一种利用能谱分析无损检测试样膜厚的方法，利用不同成分的膜层在加速电子轰击下，会激发不同特征X射线的原理，对标块进行加速电子轰击，制定出膜层特征元素与膜厚之间的对应关系标准曲线，然后分析对待测试样进行加速电子轰击后得出的X射线的强度与频率，得到元素的含量，对比标准曲线，计算出膜层厚度。本发明仅采用常见的扫描电子显微镜和能谱仪，无需额外的检测特制辅助设备和配件投入，成本低且操作简单，适用于纳米及微米范围内，无机非金属、高分子和金属各类膜层，同时适用于单层、双层和三层复合膜层的膜厚检测，适用范围广，且不会对样品造成损坏。

主权项

1.一种利用能谱分析无损检测试样膜厚的方法，其特征在于，包括如下步骤：a.准备几组不同膜厚且膜厚都在纳米级至微米级范围内的标块、扫描电子显微镜和能谱仪，所述标块和待测试样为同种物质；b.利用扫描电子显微镜中指定工作参数的加速电子分别轰击所有标块，产生能谱信号，即特征X射线，能谱仪的检测器接收其信号并分析出标块上膜层的各组成元素的含量；c.根据不同膜厚的标块所得到的不同组成元素的含量，选取一个主要特征元素的含量，得出膜厚与膜层主要特征元素含量间的对应关系，制定出标准曲线，并将对应关系和标准曲线记录到数据库中；d.使用与上述工作参数相同的加速电子轰击试样表面，产生能谱信号，能谱仪的检测器接收其信号并分析出各组成元素的含量；e.根据测得的各组成元素的含量，选取与上述主要特征元素相同的元素，将其含量对照标准曲线，得出试样的膜厚。