[发明专利]一种电容式压力传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种电容式压力传感器及其制作方法，主要解决现有压力传感器线性范围小的问题，其自下而上包括单晶硅衬底(1)、绝缘层(2)、隔离层(3)和多晶硅薄膜(4)，该绝缘层(2)是由从上至下半径逐渐减小的N个层叠圆形台阶组成，N≥2，每层圆形台阶的厚度相同，半径不同，该多晶硅薄膜(4)上刻蚀有用于腐蚀隔离层(3)的通孔(5)，隔离层(3)通过腐蚀形成空腔(6)，多晶硅薄膜(4)和单晶硅衬底(1)上淀积有金属电极(8)，所述隔离层、通孔和多晶硅薄膜上除金属电极(8)区域外的其他表面覆盖有钝化层(7)。本发明线性范围大、工艺简单、成品率高，可用于汽车系统和工业领域中对大范围压力的测量。

主权项

1.一种电容式压力传感器，该结构自下而上包括单晶硅衬底(1)、绝缘层(2)、隔离层(3)和多晶硅薄膜(4)，该多晶硅薄膜(4)上刻蚀有用于腐蚀隔离层(3)的通孔(5)，隔离层(3)中间设有空腔(6)，且多晶硅薄膜(4)和单晶硅衬底(1)上淀积有金属电极(8)，所述隔离层(3)、通孔(5)和多晶硅薄膜(4)上除金属电极(8)区域外的其他表面覆盖有钝化层(7)，其特征在于：/n绝缘层(2)是由从上至下半径逐渐减小的N个层叠圆形台阶组成，其总厚度T为250nm～800nm，每层圆形台阶的厚度都为t＝T/N，N为整数，N≥2，每层圆形台阶的半径r_i通过求解如下等式确定：/n15T/R⁶×(R-r_i)⁵×r_i＝(i-1)T/N，/n其中，i为整数，且1≤i≤N，R是空腔(6)的半径。/n