[发明专利]一种电子玻璃中针状异物成分的检测方法在审

专利信息
申请号: 201910817847.1 申请日: 2019-08-30
公开(公告)号: CN110455814A 公开(公告)日: 2019-11-15
发明(设计)人: 刘晓芳;杨国洪;曾召 申请(专利权)人: 彩虹显示器件股份有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01N21/958;G01N23/2202;G01N23/2206;G01N23/203;G01N23/20091
代理公司: 61200 西安通大专利代理有限责任公司 代理人: 李红霖<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 712000陕西省咸阳市秦都区*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种电子玻璃中针状异物成分的检测方法,属于电子玻璃缺陷检测技术领域。一种电子玻璃中针状异物成分的检测方法,包括以下步骤:1)将样品放在光学显微镜下,找到针状异物并做第一标记线,所述第一标记线所在的平面位于在针状异物的截面上;2)沿所述第一标记线截断样品,得到断面为针状异物的暴露面的样品;3)找到样品断面上的针状异物截面,在针状异物截面的外围做第二标记线;4)利用电子显微镜找到针状异物截面,并利用能谱仪对针状异物进行成分分析。该电子玻璃中针状异物成分的检测方法,解决了电镜下寻找针状异物速度慢、效率低下的问题。
搜索关键词: 针状 异物 电子玻璃 标记线 检测 缺陷检测技术 电子显微镜 光学显微镜 成分分析 样品断面 能谱仪 截断 外围 暴露
【主权项】:
1.一种电子玻璃中针状异物成分的检测方法,其特征在于,包括以下步骤:/n1)将样品(1)放在光学显微镜下,找到针状异物(2)并做第一标记线(3),所述第一标记线(3)所在的平面位于在针状异物(2)的截面上;/n2)沿所述第一标记线(3)截断样品,得到断面为针状异物(2)的暴露面的样品;/n3)利用光学显微镜找到样品断面上的针状异物(2)截面,在针状异物截面的外围做第二标记线(4);/n4)将做好标记的样品(1)镀膜后,利用电子显微镜找到针状异物(2)截面,并利用能谱仪对针状异物(2)进行成分分析。/n
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