[发明专利]一种基于同步运动式圆度误差分离装置有效
| 申请号： | 201910818162.9 | 申请日： | 2017-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN110514164B | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 胡长悦 | 申请（专利权）人： | 正斌超市平阳有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 北京高航知识产权代理有限公司 11530 | 代理人： | 乔浩刚 |
| 地址： | 325400 浙江省温州市平阳县昆*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明一种基于同步运动式圆度误差分离装置属于精密仪器制造及测量技术领域；该装置主要在超精密圆度测量仪中引入一个可以与超精密圆度误差测量仪回转工作台同向旋转的误差分离转台，通过三次测量含有不同系统分量的圆周信号，分离出被测件的圆度误差、超精密圆度测量仪器的回转工作台径向回转误差和误差分离转台的径向回转误差中的任意一种，与应用最广泛的多步法相比，此方法完全在空域中解决问题，不涉及傅里叶变换，完全避免了谐波抑制，且测量与计算过程简单，无模型误差，为超精密级圆度误差分离提供了一种新的思路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 同步 运动 式圆度 误差 分离 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基于同步运动式圆度误差分离装置，其特征在于，包括横向导轨（1）、位移传感器（2）、误差分离转台（4）、回转工作台（5）和竖直导轨（6），位移传感器（2）在横向导轨（1）上水平向移动，横向导轨（1）带动位移传感器（2）沿竖直导轨（6）上下运动，误差分离转台（4）平放在回转工作台（5）上，误差分离转台（4）与被测件（3）一起回转，回转工作台（5）带动误差分离转台（4）与被测件（3）同轴转动。/n
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