[发明专利]平板簧片、微动装置及光刻机在审
| 申请号： | 201910818251.3 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN112445075A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 吴飞;王鑫鑫;张德峰;夏海 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种平板簧片、微动装置及光刻机，所述平板簧片包括簧片本体以及设置于所述簧片本体上的模态干涉部件，所述模态干涉部件用以提高或降低所述簧片本体的模态频率。由此，通过调整和改变平板簧片的模态频率，使平板簧片的模态频率与承片台的模态频率错开，避免共振产生，从而能够提高微动装置的控制效果，提高运动控制精度。 | ||
| 搜索关键词： | 平板 簧片 微动 装置 光刻 | ||
【主权项】：
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