[发明专利]一种电容式微机械超声换能器及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201910818366.2 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN110510573B | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 刘嘉俊;彭本贤;于峰崎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电容式微机械超声换能器及其制备方法和应用，所述电容式微机械超声换能器包括：第一组件以及第二组件，所述第二组件包括振动极板层和悬壁梁，所述第二组件中的振动极板层通过悬臂梁和第一组件相连，所述第二组件的振动极板层悬设在第一组件的内部；电容式微机械超声换能器在具有较好超声强度以及超声频率的前提下，能够大大降低器件面积，便于电容式微机械超声换能器阵列化；在制备过程中采用反应离子深刻蚀和湿法刻蚀配合使用，便于在制备过程中自停止；避免了多次光刻等，且能保证工艺操作过程中的一致性和可重复性；此外在刻蚀过程中产生的立柱，能够进一步增加支撑性能，避免第一组件和第二组件相互粘连。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 式微 机械 超声 换能器 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种电容式微机械超声换能器，其特征在于，所述电容式微机械超声换能器包括：第一组件以及第二组件，所述第二组件包括振动极板层和悬壁梁，所述第二组件中的振动极板层通过悬臂梁和第一组件相连，所述第二组件的振动极板层悬设在第一组件的内部。/n
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