[发明专利]平面相对位置检测工具及其检测方法在审
| 申请号： | 201910818880.6 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN112444210A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 李松雨 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 罗平 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种平面相对位置检测工具及其检测方法，用于检测相互平行的可调平面与基准平面的相对高度，检测工具包括：基底；第一距离传感器，集成于基底内，用于检测沿第一方向，第一距离传感器与基准平面之间的第一距离，该第一方向是与基准平面垂直的方向；及第二距离传感器，集成于基底内，用于检测沿第一方向，第二距离传感器与可调平面之间的第二距离。根据第一距离、第二距离以及第一距离传感器和第二距离传感器在第一方向的参考相对距离，便能获取相互平行的基准平面和可调平面的相对高度。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 相对 位置 检测工具 及其 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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