[发明专利]一种大长径比探针的组装方法在审
| 申请号： | 201910818916.0 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN110514877A | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 杨树明;程碧瑶;李少博;杨晓凯;王飞 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01Q70/00 | 分类号： | G01Q70/00;G01B11/02;G01B11/22;G01B11/24 |
| 代理公司： | 61200 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈翠兰<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大长径比探针的组装方法，该探针包括原子力显微镜探针以及位于针尖的纳米结构，该探针的组装方法为：首先将原子力显微镜探针进行亲水处理，然后将亲水处理后的原子力显微镜探针放置于分散有一维纳米材料的混合溶液中进行组装，得到大长径比探针，并且通过调整一维纳米材料混合溶液的浓度，能够得到不同大长径比的探针。本发明提供的大长径比探针的组装方法，简单易行，不需要复杂昂贵的设备，节约成本。对高深宽比复杂微细结构的测量具有高精度的测量能力。本发明克服了当前使用原子力普通硅探针对高深宽比微细结构成像易产生成像假象的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 大长径比 原子力显微镜探针 组装 一维纳米材料 高深宽比 亲水处理 微细结构 成像 混合溶液中 测量能力 混合溶液 纳米结构 原子力 针尖 假象 测量 节约 | ||
【主权项】：
1.一种大长径比探针的组装方法，其特征在于，该探针包括原子力显微镜探针以及位于针尖的纳米结构，该探针的组装方法为：/n首先将原子力显微镜探针进行亲水处理，然后将亲水处理后的原子力显微镜探针放置于分散有一维纳米材料的混合溶液中进行组装，得到大长径比探针，并且通过调整一维纳米材料混合溶液的浓度，能够得到不同大长径比的探针。/n
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