[发明专利]一种磁悬浮支撑装置在审

专利信息
申请号: 201910820535.6 申请日: 2019-08-29
公开(公告)号: CN110376707A 公开(公告)日: 2019-10-25
发明(设计)人: 王辉;周烽;王丽萍;李渊明;金春水 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G02B7/182 分类号: G02B7/182;G03F7/20
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 孔祥贵
地址: 130033 吉林省长春市*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明公开了一种磁悬浮支撑装置,包括:支撑盘及设置于支撑盘上的光学元件,光学元件上设有若干第一连接端,支撑盘上设有与第一连接端对应的若干第二连接端,每个第一连接端与其对应的第二连接端之间通过磁浮机构支撑,第一连接端与第二连接端还通过柔性悬架连接。第一连接端与第二连接端之间通过磁浮机构支撑,磁浮机构可以向光学元件提供磁浮力,使光学元件可以飘浮起来,且通过柔性悬架将光学元件与支撑盘连接可以使光学元件与支撑盘之间连接稳定,以减少光学元件中的应力,隔离外界的干扰力对光学元件的影响,提高光学元件的面形精度。此外,还能够隔离外界振动对光学元件的影响,提高光学元件的稳定性。
搜索关键词: 光学元件 连接端 支撑盘 磁悬浮支撑装置 隔离外界 柔性悬架 连接稳定 磁浮力 干扰力 面形 支撑 飘浮
【主权项】:
1.一种磁悬浮支撑装置,其特征在于,包括:支撑盘(3)及设置于所述支撑盘(3)上的光学元件(1),所述光学元件(1)上设有若干第一连接端,所述支撑盘(3)上设有与所述第一连接端对应的若干第二连接端,每个所述第一连接端与其对应的所述第二连接端之间通过磁浮机构(2)支撑,所述第一连接端与所述第二连接端还通过柔性悬架连接。
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