[发明专利]一种光学元件CO2有效

专利信息
申请号: 201910820748.9 申请日: 2019-08-29
公开(公告)号: CN110614440B 公开(公告)日: 2021-04-23
发明(设计)人: 李晓鹏;陆广华;支新涛;王大森;王克鸿;袁松梅;周琦;彭勇 申请(专利权)人: 南京理工大学
主分类号: B23K26/352 分类号: B23K26/352;B23K26/354;B23K26/00
代理公司: 南京理工大学专利中心 32203 代理人: 赵毅
地址: 210094 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种光学元件CO2激光重熔与气化复合抛光方法,该方法以CO2激光平行扫描的方式,通过改变激光功率、重复频率、和光斑直径对光学元件进行重熔抛光和气化抛光交替分层扫描,每层扫描的轨迹方向均不同,实现对光学元件高效、高精度抛光。本发明适用于各种光学元件的高效、高精度抛光。
搜索关键词: 一种 光学 元件 co base sub
【主权项】:
1.一种光学元件CO2激光重熔与气化复合抛光方法,其特征在于,包括清洗与干燥光学元件、CO2激光重熔抛光、CO
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