[发明专利]一种MEMS电容式陀螺仪敏感结构品质因数Q值的获取方法有效
| 申请号： | 201910821040.5 | 申请日： | 2019-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN110553666B | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 李淼;赵建颖;李严峰;杨宇生 | 申请（专利权）人： | 北京博达微科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 北京国林贸知识产权代理有限公司 11001 | 代理人： | 李桂玲;杜国庆 |
| 地址： | 101300 北京市顺义区仁和镇澜*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS电容式陀螺仪敏感结构品质因数Q值的获取方法，设定一个采样时间阈值长度，采样时间阈值长度大于设定时间长度，计算输出信号衰减时间常数：第一步：以所述设定时间长度结束为起点对顺序获得的采样点信号幅值进行判断获得衰减过程连续有效点，直至达到采样时间阈值长度后结束、获得有效点的集合，第二步：建立时间常数计算坐标，将采样点信号幅值数组作为纵坐标赋值衰减过程连续有效点集合，将采样时间间隔数组作为横坐标，做有效点集合线性回归，并由此计算出时间常数。通过对数据的过滤避免传统方式对整个包络线全部数据的处理，减少了数据的处理量，提高了测试效率，解决大数据量计算慢和一致性度不够高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 电容 陀螺仪 敏感 结构 品质因数 获取 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS电容式陀螺仪敏感结构品质因数Q值的获取方法，包括用一个采样频率采样获取陀螺仪输出信号，计算输出信号衰减时间常数，将衰减时间常数乘以MEMS电容式陀螺仪固有谐振频率再乘以
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