[发明专利]导电薄膜方块电阻多探针测量方法及测量头在审
| 申请号： | 201910821249.1 | 申请日： | 2019-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN110426558A | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 刘相华 | 申请（专利权）人： | 麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 上海骁象知识产权代理有限公司 31315 | 代理人： | 赵峰 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种导电薄膜方块电阻多探针测量方法及测量头，涉及薄膜检测技术领域，所解决的是提升边缘测量能力的技术问题。该方法在目标样品上设定5个测量点，其中的4个点按传统四探针法排列成一个直线段P14，P5设置在直线段P14的中垂线上，并位于直线段P14的内侧；然后在P1、P4处导入测量电流I的情况下，测量P2、P5之间的电势差U25A及P2、P3之间的电势差U23；在P1、P3处导入测量电流的情况下，测量P2、P5之间的电势差U25B；再将U|25A/U|25B作为r的值推导出r‑Cf函数曲线；再根据r‑Cf函数曲线求得校正因子Cf的值，并根据校正因子Cf的值计算目标样品的方块电阻。本发明提供的方法及测量头，用于导电薄膜的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 导电薄膜 方块电阻 测量头 电势差 直线段 测量电流 函数曲线 校正因子 多探针 薄膜检测 边缘测量 计算目标 目标样品 四探针法 测量点 中垂线 推导 点按 | ||
【主权项】：
1.一种导电薄膜方块电阻多探针测量方法，其特征在于，具体步骤如下：1)在目标样品上设定5个测量点，并将该5个测量点分别定义为P1、P2、P3、P4、P5；其中的P1、P2、P3、P4从左至右等间距排列，并且该4个测量点连成一个直线段P14，并且直线段P14的两端端点分别为P1、P4；其中的P5位于直线段P14的中垂线上，并且P5位于直线段P14的内侧；2)设定测量电流I的值，并采用2种测量方式实施测量；测量方式1：在P1、P4处导入测量电流I，并测量P2、P5之间的电势差U25A，及P2、P3之间的电势差U23；测量方式2：在P1、P3处导入测量电流I，并测量P2、P5之间的电势差U25B；3)令r＝U25A/U25B，并推导出r‑Cf函数曲线；4)通过r‑Cf函数曲线求得校正因子Cf的值，并根据校正因子Cf的值计算目标样品的方块电阻Rs，计算公式为：![]()
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司，未经麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910821249.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
