[发明专利]一种小工具辅助大气等离子体复合抛光头在审
| 申请号： | 201910822126.X | 申请日： | 2019-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN110625448A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 郭海林;王大森;聂凤明;裴宁;李晓静;张广平;张旭 | 申请（专利权）人： | 中国兵器科学研究院宁波分院 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B13/01 |
| 代理公司： | 33102 宁波诚源专利事务所有限公司 | 代理人： | 袁忠卫 |
| 地址： | 315103 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种小工具辅助大气等离子体复合抛光头，包括底座、力矩伺服电机、连接板、等离子体抛光头和小工具抛光头，底座上设有直线导轨，连接板设在力矩伺服电机前端与转子相连接，力矩伺服电机的定子固定在基板上并通过驱动机构沿直线导轨作竖直滑动，等离子体抛光头安装在连接板前端上部，小工具抛光头对应安装在连接板前端下部，等离子体抛光头和小工具抛光头在力矩伺服电机驱动下实现抛光时的摆动和转换。增设小工具抛光头，通过小工具抛光头辅助等离子体抛光有效减轻二次吸附物对光学元件表面影响，提高抛光质量；通过力矩伺服电机实现小工具抛光头与等离子体抛光头转换，工作效率高，精度高；配合其他数控轴运动，可用于大尺寸非球面光学元件加工。 | ||
| 搜索关键词： | 小工具抛光 力矩伺服电机 等离子体抛光 连接板 抛光 直线导轨 底座 非球面光学元件 大气等离子体 辅助等离子体 光学元件表面 工作效率高 二次吸附 复合抛光 驱动机构 竖直滑动 转子 数控轴 头转换 小工具 摆动 基板 可用 增设 驱动 转换 加工 配合 | ||
【主权项】：
1.一种小工具辅助大气等离子体复合抛光头，其特征在于：包括一竖直设置的底座、力矩伺服电机、连接板、等离子体抛光头和小工具抛光头，底座上设有直线导轨，连接板设置在力矩伺服电机的前端与力矩伺服电机的转子相连接，力矩伺服电机的后端定子固定在基板上并通过驱动机构可沿直线导轨作竖直滑动，等离子体抛光头安装在连接板的前端上部，小工具抛光头对应安装在连接板的前端下部，等离子体抛光头和小工具抛光头可在力矩伺服电机的驱动下实现抛光时的摆动和转换。/n
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