[发明专利]一种晶圆双面制作系统

摘要

本发明公开了一种晶圆双面制作系统。包括：包括晶圆承载台、晶圆翻转机构及晶圆传送机构；晶圆翻转机构包括：第一夹持部包含第一夹持基体及设有第一卡槽部的第一夹持件，第二夹持部包含第二夹持基体及第二夹持件，第二夹持件设有与第一卡槽部相对的第二卡槽部；夹持定位部，包括：定位轨道和定位件，定位件连接定位轨道与夹持部，带动可移动的夹持部沿定位轨道移动至第一位置为第一卡槽部与第二卡槽部贴合形成卡槽夹紧晶圆边缘的位置，第二位置为卡槽松开晶圆的位置；夹持翻转部包括翻转驱动部，连接第一夹持部和第二夹持部。通过第一夹持件、第二夹持件相配合只夹持晶圆的边缘区域实现晶圆的翻转，避免了晶圆晶圆正反两面被粉尘污染或被划伤。

主权项

1.一种晶圆双面制作系统，其特征在于，包括晶圆承载台，晶圆翻转机构，及移动于所述晶圆承载台和所述晶圆翻转机构之间的晶圆传送机构；/n所述晶圆翻转机构，包括：/n第一夹持部，包含第一夹持基体及设于所述第一夹持基体的第一夹持件，所述第一夹持件设有第一卡槽部，第二夹持部，包含第二夹持基体及设于所述第二夹持基体的第二夹持件，所述第二夹持件设有与所述第一卡槽部相对的第二卡槽部，所述第一夹持部和/或第二夹持部为可移动的夹持部；/n夹持定位部，包括：定位轨道，规定至少一种夹持部移动的轨迹；定位件，连接定位轨道与夹持部，能够带动可移动的夹持部沿所述定位轨道移动至第一位置、或第二位置，所述第一位置为所述第一卡槽部与所述第二卡槽部贴合形成卡槽，且所述卡槽夹紧晶圆边缘的位置，能够相对于另一种远离至第二位置，所述第二位置为所述卡槽松开晶圆的位置；/n夹持翻转部，包括翻转驱动部，所述翻转驱动部连接所述第一夹持部和第二夹持部。/n