[发明专利]触觉接口、用于触觉接口的图案化的层结构及其产生方法在审
申请号: | 201910824507.1 | 申请日: | 2019-09-02 |
公开(公告)号: | CN110872099A | 公开(公告)日: | 2020-03-10 |
发明(设计)人: | 全真汉;苏永兴;K·塞格尔;T·福克 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 赵林琳 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开的实施例涉及触觉接口、用于触觉接口的图案化的层结构及其产生方法。提供了一种用于产生用于触觉接口的图案化的层结构的方法,包括:提供包括保护覆盖层的衬底;提供保护覆盖层中的切割线,从而形成第一图案化区域和第二图案化区域;从保护覆盖层去除第一图案化区域;在衬底上和保护覆盖层上沉积底部电极层;从保护覆盖层去除第二图案化区域,从而图案化底部电极层以提供底部电极层图案;在衬底上和底部电极层上沉积电活性层;提供包括顶部电极层图案的顶部电极层,顶部电极层图案可以进一步包括顶部电接触部分。还提供了图案化的层结构。还提供了包括图案化的层结构的触觉接口。 | ||
搜索关键词: | 触觉 接口 用于 图案 结构 及其 产生 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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