[发明专利]一种线位移传感器综合校准装置

摘要

本发明公开了一种线位移传感器综合校准装置，它包括台架、台板、精密滚珠丝杆组件、组合滑台、线位移传感器夹具、激光干涉仪、门框干涉镜安装座、上位机、下位机、伺服控制器和伺服电机；上位机根据被校线位移传感器的类别结合相关校准规范控制精密滚珠丝杆组件直线运动；线位移传感器夹具一端安装具有多维运动的组合滑台上方，另一端根据需要安装在精密滚珠丝杆组件上方的滑块基座上，从而带动被校线位移传感器的直线运动；激光干涉仪实时测量精密滚珠丝杆组件上的滑块位移与被校的线位移传感器位移进行比较形成校准结果。本发明遵循阿贝原则，具有精度高、智能化、效率高、易搬运、便安装、能满足多种结构线位移传感器校准要求等特点。

主权项

1.一种线位移传感器综合校准装置，其特征是：它包括台架(1)、台板(2)、精密滚珠丝杆组件(3)、组合滑台(12)、线位移传感器夹具(20)、激光干涉仪、门框干涉镜安装座(9)、上位机(18)、下位机(16)、伺服控制器(17)、伺服电机(4)；所述台架(1)作为校准装置的支撑框架采用型材拼装而成，其下端安装有多个橡胶脚垫直接与地板或其它台面接触，中间设有储物空间用于安装下位机(16)、伺服控制器(17)和各类型的线位移传感器夹具(20)，其上端固定安装有台板(2)；所述台板(2)的台面中心线上从左到右分别固定安装有所述组合滑台(12)、精密滚珠丝杆组件(3)和门框干涉镜安装座(9)；所述精密滚珠丝杆组件(3)上的滑块安装板(5)上固定安装着滑块基座(6)；所述线位移传感器夹具(20)的一端安装在组合滑台(12)上方的连接板(13)上，该连接板(13)通过沉头螺钉固定安装在组合滑台(12)的滑台平面上，另一端根据受校线位移传感器的类型安装在滑块基座(6)上，被校线位移传感器固定安装在该线位移传感器夹具(20)中，当精密滚珠丝杆组件(3)的滑块直线运动时带动被校线位移传感器产生位移，该线位移传感器夹具(20)可互换，其根据被校线位移传感器结构形式的不同而采用不同的结构形式；所述激光干涉仪用于测量精密滚珠丝杆组件(3)上的滑块位移变化量，作为标准位移与被校的线位移传感器位移进行直接比较，从而生成该示值误差，该激光干涉仪的反射镜(7)及被校线位移传感器在线位移传感器夹具(20)上的安装采用快速夹具夹紧，该快速夹具包括弹性活动夹具(11)和弹性固定夹具(8)；所述组合滑台(12)可以实现行程≥±6.5mm的X轴、Y轴、水平Z轴以及360度旋转轴共四维方向的运动，通过调整该组合滑台(12)的四维位置可以实现激光干涉仪的光轴处在被校位移传感器测量轴的延长线上，以遵循阿贝原则，减少阿贝误差；所述伺服电机(4)通过联轴器与精密滚珠丝杆组件(3)的滚珠丝杆连接，通过所述伺服控制器(17)控制伺服电机(4)的运动情况；所述台架(1)的外侧还放置有所述上位机(18)，该上位机(18)通过数据线分别连接激光干涉仪和下位机(16)，下位机(16)与伺服控制器(17)保持通讯连接，该伺服控制器(17)与伺服电机(4)通过电子线连接；所述上位机(18)安装有校准软件，该校准软件能够根据用户的设置按照JJF 1305-2011线位移传感器校准规范的要求自动下达控制指令以控制被校线位移传感器产生的位移量，并采集激光干涉仪测量出的位移数据，实现闭环控制，被校线位移传感的位移与校准软件上的标准位移差即为该线位移传感器的误差；同理即可完成该线位移传感器的线性度、回程误差、重复性技术指标的校准。/n