[发明专利]一种高性能衬底的制作工艺

摘要

本发明公开了一种高性能衬底的制作工艺，一种高性能衬底的制作工艺，制作工艺包括线切、第一次粗磨、第一次退火、第二次粗磨、细磨、倒角、清洗、第二次退火、铜抛、抛光，采用超细磨机，对蓝宝石衬底进行双面细磨减薄，细磨过后把Warp控制在15μm，Bow控制在4μm以内；采用上述方案后，本发明提供的一种高性能衬底的制作工艺，最大化减少应力对细磨的变形影响，从而让衬底能在细磨能获得较高的平坦度以及较低的应力反应。

主权项

1.一种高性能衬底的制作工艺，其特征在于：所述制作工艺的具体步骤如下：/n(1)线切：采用多线切割机、切割线和切割液，选用合适晶棒，切去晶颈，将晶棒固定于旋转装夹装置上，利用上下移动的所述多线切割机，对晶棒进行切片，得到蓝宝石毛坯；线切后的平坦度指标Warp在40μm左右，Bow在8μm左右；/n(2)第一次粗磨：采用双面粗磨机，用碳化硼研磨液对蓝宝石毛坯进行第一次粗磨，将蓝宝石衬底的厚度移除40-50μm；/n(3)第一次退火：将第一次粗磨后的毛坯，放入加热炉进行升温，第一次升温的温度为350℃-450℃，恒温30-50分钟；第二次升温的温度为750℃-850℃，恒温30-50分钟；第三次升温的温度为1400℃-1500℃，恒温100-200分钟；第一次降温的温度为750℃-850℃，恒温30-50分钟；第二次降温的温度为350℃-450℃，恒温30-50分钟；第三次降温关闭加热炉，使其自然冷却；/n(4)第二次粗磨：用双面粗磨机和碳化硼研磨液对蓝宝石毛坯进行第二次粗磨，将蓝宝石衬底的厚度移除10-15μm；/n(5)细磨：采用超细磨机，对蓝宝石衬底进行双面细磨减薄，细磨过后把Warp控制在15μm，Bow控制在4μm以内；/n(6)倒角：采用倒角机对蓝宝石衬底的边缘进行倒角，倒角砂轮使用400目金刚砂定型轮，转速为2000r/min，晶片进给速度为0.3mm/min；/n(7)清洗：放入超声波清洗槽进行清洗；/n(8)第二次退火：将清洗后的蓝宝石晶片放入退火炉内，以5℃/min的升温速度加热至1400℃-1500℃，保持1400℃-1500℃的高温，恒温40-50分钟，对衬底的进行热处理；/n(9)铜抛：对蓝宝石晶片进行铜抛加工；/n(10)抛光：采用双面抛光设备进行化学机械抛光。/n