[发明专利]一种类金刚石复合薄膜及其制备方法和应用以及一种IGBT模块散热基板有效
| 申请号： | 201910827903.X | 申请日： | 2019-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN110527964B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 殷录桥;张建华;王毅斌;张豆豆;汪飞 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;H01L23/367;H01L23/373 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘潇 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶体管技术领域，提供了一种类金刚石复合薄膜，自下而上依次包括金属基层、金属碳化物梯度过渡层和氮银共掺杂类金刚石薄膜层。本发明通过设置金属碳化物梯度过渡层，改善了类金刚石薄膜与金属接触角过大的问题；本发明在类金刚石薄膜中掺杂氮和银，在提高类金刚石薄膜的热稳定性的同时，又可以降低其内应力，提高类金刚石复合薄膜的散热性能。本发明提供类金刚石复合薄膜的制备方法，该方法步骤简单，得到的复合薄膜质量高。本发明还提供了一种IGBT模块散热基板和一种IGBT模块，本发明在传统的IGBT模块的铜基板表面制备类金刚石复合薄膜，可以明显提升散热铜板的导热性能，进而提高整个IGBT模块的传热能力。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 金刚石 复合 薄膜 及其 制备 方法 应用 以及 一种 igbt 模块 散热 | ||
【主权项】：
1.一种类金刚石复合薄膜，其特征在于，自下而上依次包括金属基层、金属碳化物梯度过渡层和氮银共掺杂类金刚石薄膜层；/n所述金属基层和金属碳化物梯度过渡层中的金属元素相同；/n所述金属碳化物梯度过渡层的碳含量自下而上逐渐增大。/n
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