[发明专利]衬底上薄膜的制备方法

摘要

本发明提供了一种衬底上薄膜的制备方法，包括如下步骤：提供包括第一表面和第二表面的薄膜转移衬底；对第一表面进行离子注入并形成注入损伤层；提供包括第三表面和第四表面的支撑衬底；将薄膜转移衬底与支撑衬底键合并形成键合衬底；在水浴、油浴或盐浴中对键合衬底退火,同时采用超声或兆声功率对所述键合衬底进行处理，使键合衬底沿注入损伤层剥离，得到位于支撑衬底上的薄膜。本发明通过采用水浴、油浴或盐浴作为退火介质对键合衬底进行退火，并在退火时采用超声或兆声功率对键合衬底进行处理，使键合衬底在低于预期剥离温度的条件下剥离，减少了离子注入的剂量，优化异质材料键合时的热应力分布，降低了生产成本，提高了薄膜质量及成品率。

主权项

1.一种衬底上薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：/n提供薄膜转移衬底，所述薄膜转移衬底包括相对设置的第一表面和第二表面；/n对所述第一表面进行离子注入，并在所述薄膜转移衬底中形成注入损伤层；/n提供支撑衬底，所述支撑衬底包括相对设置的第三表面和第四表面；/n将所述薄膜转移衬底与所述支撑衬底通过所述第一表面和所述第三表面进行键合，并形成键合衬底；/n在水浴、油浴或盐浴中对所述键合衬底进行退火,同时采用超声或兆声功率对所述键合衬底进行处理，使所述键合衬底沿所述注入损伤层剥离，得到位于所述支撑衬底的所述第三表面上的薄膜。/n