[发明专利]In-Sn-Sb相变材料、相变存储器及In-Sn-Sb相变材料的制备方法有效

专利信息
申请号: 201910828790.5 申请日: 2019-09-03
公开(公告)号: CN110718627B 公开(公告)日: 2022-02-18
发明(设计)人: 徐明;徐萌;缪向水 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 代理人: 李佑宏
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了In‑Sn‑Sb相变材料、相变存储器及In‑Sn‑Sb相变材料的制备方法,属于相变存储材料领域,所述In‑Sn‑Sb相变材料为由In,Sb,Sn元素组成的化学通式为InxSnySb100‑x‑y的材料,其通过将Sb作为基体材料,并向基体材料中掺杂In、Sn后得到;其中,x,y分别为原子个数百分比,且0<x<50,0<y<50,0<x+y≤50。本发明的In‑Sn‑Sb相变材料,其制备方法简便,制备得到的In‑Sn‑Sb相变材料相较于传统的相变材料而言,具有更好的热稳定性、低相变密度变化、高阻值,可有效降低相变材料的工作功耗,提升信息数据存储的稳定性和准确性,避免相变存储器进行数据存储时相变材料与电极的脱离,确保信息存储稳定、准确的同时,延长了相变存储器的使用寿命,提升了相变存储器的使用经济性。
搜索关键词: in sn sb 相变 材料 存储器 制备 方法
【主权项】:
1.一种In-Sn-Sb相变材料,其特征在于,所述In-Sn-Sb相变材料为In,Sb,Sn元素组成的化学通式为In
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