[发明专利]一种具有大长宽比结构的低挤压膜阻尼微机械谐振器在审
| 申请号： | 201910831468.8 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN110661505A | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 李普;方玉明;王金湘 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/24;B81B3/00 |
| 代理公司： | 32206 南京众联专利代理有限公司 | 代理人： | 薛雨妍 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有大长宽比结构的低挤压膜阻尼微机械谐振器，包括具有大长宽比的刚性矩形振子、弹性支撑梁、固定支撑和基底。矩形振子由弹性支撑梁，并垂直于基底振动。以前的振子结构一般都是长宽比接近1的矩形，或正方形。这种振子的挤压膜阻尼很大，使得器件品质因数不高，机械能量损耗高。器件作为执行器时，则器件响应慢，应用价值低。本发明的低挤压膜阻尼微谐振器件，振子采用大长宽比矩形结构，显著减小了挤压膜间隙内外的压力差，具有较小的挤压膜阻尼。这使得器件机械能量损耗低，品质因数高，响应快，应用价值高。 | ||
| 搜索关键词： | 挤压膜 长宽比 振子 弹性支撑梁 机械能量 基底 器件品质因数 微机械谐振器 刚性矩形 固定支撑 矩形结构 矩形振子 品质因数 器件响应 谐振器件 压力差 减小 应用 垂直 响应 | ||
【主权项】：
1.一种具有大长宽比结构的低挤压膜阻尼微谐振器件，其特征在于：包括一个具有大长宽比的矩形振子(4)、弹性支撑梁(3)、固定支撑(2)和基底(1)；所述弹性支撑梁(3)的一端连接固定支撑(2)且另一端垂直连接矩形振子(4)；所述矩形阵子(4)由弹性支撑梁(3)支撑固定；所述固定支撑(2)固定设置在所述基底(1)的上表面；驱动电压施加在矩形振子(4)和基底(1)之间；所述矩形振子(4)的宽度是：l
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