[发明专利]一种碳纳米管薄膜的制备装置及方法有效
| 申请号： | 201910831831.6 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN110451484B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 韩杰;王慧 | 申请（专利权）人： | 北京华碳元芯电子科技有限责任公司;北京元芯碳基集成电路研究院 |
| 主分类号： | C01B32/158 | 分类号： | C01B32/158;C01B32/168 |
| 代理公司： | 北京秉文同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11859 | 代理人： | 赵星;张文武 |
| 地址： | 100195 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳纳米管薄膜的制备装置及方法，该装置包括一容器主体(1)，缓冲隔板(4)，缓冲隔板(4)位于容器主体(1)下部，溶剂导出部(5)，通过容器主体(1)侧壁的通孔与所述容器主体(1)内部连通，并沿延伸到容器主体(1)外部，同时公开了采用这种装置进行顺排碳纳米管薄膜制备方法。采用该种装置和方法可以通过控制半渗透管路的长度来实现对液面下降速度的控制，从而控制碳纳米管在基底表面的自组装速度。具有液面下降平稳，构造简单，成本低和适合大面积制备等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 薄膜 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种碳纳米管薄膜的制备装置，包括一容器主体(1)，其特征在于，包括：/n缓冲隔板(4)，所述缓冲隔板(4)位于所述容器主体(1)下部；/n溶剂导出部(5)，通过容器主体(1)侧壁的通孔与所述容器主体(1)内部连通，并沿延伸到容器主体(1)外部。/n
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