[发明专利]谐振式差压传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910834932.9 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN110550598B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 陈德勇;李亚东;王军波;鲁毓岚;谢波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G01L1/10;G01L13/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种谐振式差压传感器及其制备方法，该传感器包括：传感器本体，顺次包括基底层、绝缘层和器件层，其中，在基底层的中央位置设置有第一压力敏感膜，在所述第一压力敏感膜四周设置有引线孔；绝缘层用于隔开基底层和器件层；在器件层上与所述第一压力敏感膜对应的位置处分别设置有第一谐振器和第二谐振器；盖板，包括硅层和玻璃层，其中，在硅层上与所述第一压力敏感膜所对应的位置处形成第二压力敏感膜；在玻璃层上与第一谐振器和第二谐振器对应的位置处分别形成第一空腔和第二空腔。谐振器四周和上方的空腔小以及减小玻璃的厚度，可以保证该差压传感器有小的静压灵敏度，大的差压灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振 式差压 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种谐振式差压传感器，其特征在于，包括：/n传感器本体，顺次包括基底层、绝缘层和器件层，其中，在基底层的中央位置设置有第一压力敏感膜，在所述第一压力敏感膜四周设置有引线孔；绝缘层用于隔开基底层和器件层；在器件层上与所述第一压力敏感膜对应的位置处分别设置有第一谐振器和第二谐振器，在所述谐振器的四周设置有接线端子；/n盖板，包括硅层和玻璃层，其中，在硅层上与所述第一压力敏感膜所对应的位置处形成第二压力敏感膜；在玻璃层上与第一谐振器和第二谐振器对应的位置处分别形成第一空腔和第二空腔，用于提供第一谐振器和第二谐振器的振动所需空间。/n
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