[发明专利]图案描绘装置有效
| 申请号： | 201910836809.0 | 申请日： | 2016-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN110596886B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 铃木智也;加藤正纪;小宫山弘树 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B26/12 | 分类号： | G02B26/12;G03F7/20;G03F7/24;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 刘金凤;赵燕力 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的光束扫描装置(MD)，是一边将光束(LB)的点光(SP)投射于对象物(FS)的被照射面、一边进行该点光(SP)于该被照射面上沿扫描线(SLn)的一维扫描，其具备：射入光束(LB)的入射光学构件(M10)、将来自入射光学构件(M10)的光束(LB)为进行扫描而加以偏向的扫描用偏向构件(PM)、射入经偏向的光束(LB)后投射于被照射面的投射光学系(FT)、以及支承入射光学构件(M10)、扫描用偏向构件(PM)及投射光学系(FT)、可绕与照射中心轴(Le)在既定容许范围内成同轴的第1旋转中心轴(Mrp)旋转的支承架(40)，该照射中心轴系相对该被照射面垂直通过以该点光(SP)的扫描在该被照射面上形成的扫描线(SLn)的中点。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 描绘 装置 | ||
【主权项】：
1.一种图案描绘装置，借由一边将来自光源装置的光束的点光投射于对象物的被照射面、一边使该点光在该被照射面上沿着扫描线进行一维扫描，于该被照射面描绘图案，其具备：/n扫描用偏向构件，使来自该光源装置的该光束为了该一维扫描而偏向；/n投射光学系，使经偏向的该光束入射而投射于该被照射面；/n支承架，支承该扫描用偏向构件、及该投射光学系；以及/n结合构件，在将通过该扫描线上的特定点的该被照射面的法线设为照射中心轴时，以该支承架对装置本体的支承部分被限制在从该照射中心轴起的既定半径内区域的方式，将该支承架与该装置本体以能绕该照射中心轴旋转的方式结合。/n
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