[发明专利]薄膜状部件支撑设备有效
| 申请号： | 201910837433.5 | 申请日： | 2015-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN110625540B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 熊仓佳代;井户尻悟;大野正胜;武岛幸市;平形吉晴;横山浩平 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;B29C53/18;H01L21/687 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘林华;金飞 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 将薄膜状部件通过真空吸引支撑为平面形状。多个提升销以平面构造配置且支承置于它们上端上方的薄膜状部件。用于通过真空吸引保持薄膜状部件的由橡胶制成的管状吸盘附接于提升销的上部。提升销的高度可以利用螺纹紧固机构来而调整。通过来自吸盘的吸引，薄膜状部件的变形可被校正为平面状或凹入弯曲状。在不能只通过吸引来校正时，可通过从喷嘴喷射空气来对校正进行补充。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜状 部件 支撑 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于支撑具有第一表面和第二表面的薄膜的设备，包括：/n第一提升销；/n第二提升销；/n第一吸盘，其包括第一弹性部件，并设置在所述第一提升销的端部；以及/n第二吸盘，其包括第二弹性部件，并设置在所述第二提升销的端部，/n其中：/n所述第一吸盘具有比所述第二吸盘更小的外径，并且/n所述第一吸盘和所述第二吸盘构造成吸引所述薄膜，使得所述薄膜的所述第一表面被附接至所述第一吸盘和所述第二吸盘。/n
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