[发明专利]一种化学气相沉积系统及供气装置和供气方法

摘要

本发明提供了一种化学气相沉积系统及供气装置和供气方法，所述供气装置包括末端总管、第一供气管线和至少一个备用供气管线；第一供气管线包括混合气供应支线、工艺气体供应支线、混气容器和第六电磁气动阀，工艺气体供应支线包括工艺气体储存容器、高纯过滤器、第四电磁气动阀、第五电磁气动阀、第三压力变送器、第一质量流量计、第一吹扫气管线和第二吹扫气管线；所述备用供气管线与所述第一供气管线相同。本发明的化学气相沉积系统的供气装置可实现在线切换和稳定、安全、连续的供气，保证化学气相沉积过程中工艺供气的稳定性。

主权项

1.一种化学气相沉积系统的供气装置，其特征在于，所述供气装置包括末端总管、第一供气管线和至少一个备用供气管线；/n所述末端总管与化学气相沉积系统的用气装置管路连通，末端总管与第一供气管线管路连通，末端总管与备用供气管线管路连通；/n所述第一供气管线包括混合气供应支线、工艺气体供应支线、混气容器和第六电磁气动阀，所述混合气供应支线与所述混气容器连通，工艺气体供应支线与所述混气容器连通，第六电磁气动阀管路连通于混气容器和所述末端总管之间；/n所述混合气供应支线包括起始端的混合气储气容器、与所述混合气储气容器管路连通的第七电磁气动阀、与所述第七电磁气动阀管路连通的第四压力变送器、以及与所述第四压力变送器管路连通的第二质量流量计，所述第二质量流量计与所述混气容器管路连通；/n所述工艺气体供应支线包括起始端的工艺气体储存容器、与所述工艺气体储存容器管路连通的高纯过滤器、与所述高纯过滤器管路连通的第四电磁气动阀、与所述第四电磁气动阀管路连通的第五电磁气动阀、与所述第五电磁气动阀管路连通的第三压力变送器、与所述第三压力变送器管路连通的第一质量流量计、第一吹扫气管线和第二吹扫气管线，所述第一质量流量计与所述混气容器管路连通，所述第一吹扫气管线的末端管路连通在所述高纯过滤器与第四电磁气动阀之间的管路上，所述第二吹扫气管线的末端管路连通在所述第四电磁气动阀和第五电磁气动阀之间的管路上，所述工艺气体储存容器外设置有恒温装置；/n所述第一吹扫气管线从起始端到末端依次包括第一吹扫气储存容器、与所述第一吹扫气储存容器管路连通的第一电磁气动阀、以及与所述第一电磁气动阀管路连通的第一压力变送器，所述第一压力变送器通过管路连通在所述高纯过滤器与第四电磁气动阀之间的管路上；/n所述第二吹扫气管线从起始端到末端依次包括第二吹扫气储存容器、与所述第二吹扫气储存容器管路连通的第二电磁气动阀、与所述第二电磁气动阀管路连通的第二压力变送器、与所述第二压力变送器管路连通的文丘里发生器、与所述文丘里发生器管路连通的第三电磁气动阀、以及与所述文丘里发生器管路连通的尾气管路，所述第三电磁气动阀管路连通在所述第四电磁气动阀和第五电磁气动阀之间的管路上；/n所述备用供气管线与所述第一供气管线相同。/n