[发明专利]图案描绘装置及图案描绘方法有效
| 申请号： | 201910841678.5 | 申请日： | 2016-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN110596887B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 铃木智也;加藤正纪;小宫山弘树 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B26/12 | 分类号： | G02B26/12;G03F7/20;G03F7/24;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 刘金凤;赵燕力 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及图案描绘装置及图案描绘方法，其中光束扫描装置(MD)，是一边将光束(LB)的点光(SP)投射于对象物(FS)的被照射面、一边进行该点光(SP)于该被照射面上沿扫描线(SLn)的一维扫描，其具备：射入光束(LB)的入射光学构件(M10)、将来自入射光学构件(M10)的光束(LB)为进行扫描而加以偏向的扫描用偏向构件(PM)、射入经偏向的光束(LB)后投射于被照射面的投射光学系(FT)、以及支承入射光学构件(M10)、扫描用偏向构件(PM)及投射光学系(FT)、可绕与照射中心轴(Le)在既定容许范围内成同轴的第1旋转中心轴(Mrp)旋转的支承架(40)，该照射中心轴系相对该被照射面垂直通过以该点光(SP)的扫描在该被照射面上形成的扫描线(SLn)的中点。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 描绘 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图案描绘装置，将被投射于被照射体的描绘用光束借由旋转多面镜的旋转而反复扫描，于该被照射体上描绘既定的图案，其具备：/n原点检测部，由光束送光系和光束受光系构成，该光束送光系朝向该旋转多面镜的多个反射面中与反射该描绘用光束的第1反射面不同的第2反射面，投射与该描绘用光束不同的光束，该光束受光系在既定的位置承接在该第2反射面的反射光束，产生表示该第2反射面成为既定的角度位置的原点信号；/n控制装置，将以该原点信号产生后至该第2反射面成为该第1反射面为止的该旋转多面镜的旋转速度决定的既定时间作为基准，从该原点信号的产生以既定的延迟时序来指示该描绘用光束的描绘开始。/n
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