[发明专利]超高真空极低温原位多探针输运测量系统在审
| 申请号： | 201910842209.5 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN110501528A | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 王文杰 | 申请（专利权）人： | 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00;G01Q30/16;G01Q30/10;G01Q70/06 |
| 代理公司： | 33253 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 张抗震<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市南湖区亚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超高真空极低温原位多探针输运测量系统，包括快速进样室、生长室、输运测试室、真空互联系统、系统支架及电源系统，其中快速进样室主要实现大气和超高真空环境之间快速传递样品和针尖；生长室主要在高温下实现指定图案薄膜器件和电极的生长；输运测量室主要实现生长好的薄膜器件在极低温下的原位多探针输运测量；真空互联系统主要实现系统与其他系统的真空连接。本发明公开的一种超高真空极低温原位多探针输运测量系统，其可以通过真空环境和制冷技术，能够实现从低温到室温的样品温度控制。 | ||
| 搜索关键词： | 输运 多探针 极低温 测量系统 超高真空 互联系统 进样室 生长室 超高真空环境 薄膜器件 电源系统 图案薄膜 系统支架 真空环境 真空连接 制冷技术 测量室 测试室 电极 生长 针尖 测量 传递 | ||
【主权项】：
1.一种超高真空极低温原位多探针输运测量系统，用于生长薄膜的原位电学输运测量，其特征在于，包括：/n快速进样室，所述快速进样室包括真空腔体部、第一真空泵组、全量程规、第一传样杆，所述第一真空泵组位于所述真空腔体部的下端并且与所述真空腔体部固定连接，所述第一传样杆位于所述真空腔体部的侧端并且与所述真空腔体部固定连接，所述快速进样室用于实现大气和超高真空环境之间快速互相传递样品和针尖，所述第一真空泵组用于提供真空环境，所述全量程规用于测量真空度；/n生长室，所述生长室包括第一超高真空腔体部、离子规、第二传样杆、第三传样杆、第五传样杆，所述离子规位于所述第一超高真空腔体部的侧端并且与所述第一超高真空腔体部固定连接，所述第二传样杆位于所述第一超高真空腔体部的侧端并且与所述第一超高真空腔体部固定连接，所述第二传样杆用于对所述第一超高真空腔体部内样品的抓取与传递，所述第二传样杆在水平方向上与所述第一传样杆垂直，所述第三传样杆位于所述第一超高真空腔体部的下端并且与所述第一超高真空腔体部固定连接，所述离子规用于测量真空度，所述第五传样杆位于所述第一超高真空腔体部的侧端并且与所述第一超高真空腔体部固定连接，所述第五传样杆在水平方向上与所述第一传样杆平行；/n输运测试室和支架系统，所述快速进样室、生长室和输运测试室均位于所述支架系统的上端并且均与所述支架系统固定连接。/n
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