[发明专利]一种多晶硅热场坩埚装置在审
| 申请号： | 201910842812.3 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN110565171A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 朱建峰 | 申请（专利权）人： | 大同新成新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 11435 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 申绍中 |
| 地址： | 037002 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及多晶硅加热附属装置的技术领域，特别是涉及一种多晶硅热场坩埚装置，其工作釜内部可以方便进行观察，从而提高其实用性；包括工作釜，工作釜内部设置有工作腔，工作釜顶端连通设置有取放口，并在取放口处螺栓螺装有挡盖；挡盖顶端连通设置有观察孔，并在观察孔处设置有透明观察板，挡盖顶端左侧设置有前后向连通口，还包括滑块、带动柱、带动板、安装板和海绵擦，还包括后固定板、前固定板、把手、连接架和丝杠，前固定板后端设置有第一轴承座，并在第一轴承座内设置有第一滚珠轴承和第一限位片，第一轴承座后端设置有第一挡片，还包括多组第一套簧和多组第一可伸缩管。 | ||
| 搜索关键词： | 工作釜 轴承座 挡盖 连通设置 前固定板 多晶硅 观察孔 取放口 透明观察板 螺栓 附属装置 滚珠轴承 后固定板 可伸缩管 内部设置 坩埚装置 安装板 带动板 带动柱 工作腔 海绵擦 连接架 连通口 限位片 挡片 滑块 热场 丝杠 加热 把手 观察 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅热场坩埚装置，包括工作釜（1），工作釜（1）内部设置有工作腔，工作釜（1）顶端连通设置有取放口，并在取放口处螺栓螺装有挡盖（2）；其特征在于，挡盖（2）顶端连通设置有观察孔，并在观察孔处设置有透明观察板（3），挡盖（2）顶端左侧设置有前后向连通口，还包括滑块（4）、带动柱（5）、带动板（6）、安装板（7）和海绵擦（8），带动柱（5）顶端与滑块（4）连接，带动柱（5）底端穿过前后向连通口并伸入至工作釜（1）内部与带动板（6）顶端左方连接，海绵擦（8）安装在安装板（7）顶端，海绵擦（8）贴紧透明观察板（3）底侧壁，还包括后固定板（9）、前固定板（10）、把手（11）、连接架（12）和丝杠（13），后固定板（9）和前固定板（10）分别安装在挡盖（2）顶端左侧后方和前方，前固定板（10）后端设置有第一轴承座，并在第一轴承座内设置有第一滚珠轴承和第一限位片，第一轴承座后端设置有第一挡片（14），把手（11）可转动固定在连接架（12）后端，丝杠（13）后端与连接架（12）前部连接，丝杠（13）前端穿过后固定板（9）后侧壁并伸出至后固定板（9）前方，丝杠（13）前端穿过第一挡片（14）插入至第一滚珠轴承内部与第一限位片连接，滑块（4）螺装套在丝杠（13）外侧，还包括多组第一套簧（15）和多组第一可伸缩管，多组第一套簧（15）的一端均与安装板（7）连接，多组第一套簧（15）的另一端均与带动板（6）连接，多组第一可伸缩管的一端均与安装板（7）连接，多组第一可伸缩管的另一端均与带动板（6）连接，多组第一套簧（15）分别套装在多组第一可伸缩管外侧。/n
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