[发明专利]一种薄膜剖面图像的膜厚采集方法

摘要

本发明公开了一种薄膜剖面图像的膜厚采集方法，基于薄膜测厚仪输出用以显示被检测薄膜的横向剖面厚度图像，先根据区域特征获取含有目标曲线的ROI区域，在灰度化和滤波处理后，根据颜色分量和坐标特征获取该区域内的非连续膜厚曲线图像和辅助点阵图像；然后，对二副图像分别进行Otsu阈值分割和双阈值分割后得到二值图像，并将结果相合并生成一条连续完整且无交叉的膜厚曲线图像；最后，基于所获取的基准厚度值、坐标刻度值、厚度平均值，对所生成膜厚曲线上每个点，将其在图像中的像素坐标变换为所对应的厚度值。本发明通过对薄膜剖面图像的处理，能准确获取薄膜剖面各点的厚度值，从而为薄膜横、纵向厚度的一致性控制提供了基础。

主权项

1.一种薄膜剖面图像的膜厚采集方法，所处理的图像是以薄膜测厚仪输出并能显示在一显示器上的用以显示被检测薄膜的横向剖面厚度的图像，所述图像包括分别以不同颜色表示的一条膜厚曲线、坐标轴和与坐标轴平行的辅助线，以及用以标示所述膜厚曲线基准厚度值、坐标刻度值、厚度平均值的字符，其特征在于，包括如下步骤：/nb1)检测并确保所述薄膜剖面图像为目标图像；预处理，获取含有目标原始膜厚曲线的第二ROI区域；/nb2)对第二ROI区域的目标图像进行灰度化和滤波处理；/nb3)根据颜色分量和坐标特征获取非连续膜厚曲线图像g1和辅助点阵图像g2；/nb4)对两幅图像g1和g2，分别进行Otsu阈值分割和双阈值分割后得到二值化图像g1′和g2′；/nb5)将g1′和g2′二者相合并生成一条连续完整且无交叉的膜厚曲线图像g；/nb6)基于所获取的薄膜剖面图像中的基准厚度值、坐标刻度值、厚度平均值，对所生成膜厚曲线上每个点，将其在图像中的像素坐标变换为所对应的厚度值。/n