[发明专利]基于激光自混合干涉的角度测量方法及所用测量装置在审
| 申请号： | 201910846209.2 | 申请日： | 2019-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN110702037A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 赵岩;张宝峰;许虹虹;朱均超;张海伟;韩芳芳 | 申请（专利权）人： | 天津理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B9/02 |
| 代理公司： | 12209 天津盛理知识产权代理有限公司 | 代理人： | 董一宁 |
| 地址： | 300384 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种基于激光自混合干涉的角度测量方法，将激光器输出的平行激光束作为入射光经准直透镜垂直入射到旋转物体表面的反射镜上，在旋转过程中入射光经反射镜反射后产生的反射光返回至激光器的谐振腔内且在激光器腔内发生激光自混合干涉形成自混合干涉信号，封装在谐振腔内的光电探测器接收此信号，并将其转化为电流信号，再将此电流信号以波形数据输出；利用激光自混合干涉条纹计数法测量出外腔长度进一步计数处理采集的波形数据，得到位移信息，并根据激光三角法，得到外腔长度的变化量和角度之间的关系，即可得到目标物体在Z轴方向偏转的角度。该方法能够在高精度的条件下实现角度测量，从而拓展基于激光自混合干涉的角度测量方法的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 激光自混合 角度测量 波形数据 电流信号 激光器 入射光 谐振腔 干涉 自混合干涉信号 反射镜反射 光电探测器 激光三角法 平行激光束 垂直入射 方向偏转 干涉条纹 激光器腔 计数处理 目标物体 位移信息 旋转过程 旋转物体 准直透镜 输出 变化量 反射光 反射镜 计数法 外腔 封装 测量 采集 返回 拓展 转化 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于激光自混合干涉的角度测量方法，其特征在于：将激光器输出的平行激光束作为入射光经准直透镜垂直入射到旋转物体表面的反射镜上，在旋转过程中入射光经反射镜反射后产生的反射光返回至激光器的谐振腔内且在激光器腔内发生激光自混合干涉形成自混合干涉信号，封装在谐振腔内的光电探测器接收此信号，并将其转化为电流信号，再将此电流信号以波形数据输出；利用激光自混合干涉条纹计数法测量出外腔长度进一步计数处理采集的波形数据，得到位移信息，并根据激光三角法，得到外腔长度的变化量和角度之间的关系，即可得到目标物体在Z轴方向偏转的角度。/n
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