[发明专利]一种电致变色器件及其制备方法有效
| 申请号： | 201910847155.1 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN110398867B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 刘江;王群华;吉顺青 | 申请（专利权）人： | 南通繁华新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/15 | 分类号： | G02F1/15;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海汉盛律师事务所 31316 | 代理人： | 王峥 |
| 地址： | 226601 江苏省南通市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电致变色器件及其制备方法，涉及电致变色领域，包括：将靶材真空隔离；将第一靶材以氩气掺杂氧气进行反应溅射，在具有第一导电层的衬底上形成电致变色层；在所述电致变色层上形成离子传导层；将第二靶材以氩气掺杂氧气进行反应溅射，在所述离子传导层上形成离子存储层；在所述离子存储层上形成第二导电层。本发明公开的方法可精确控制金属氧化物中的离子价态以制备电致变色层和离子存储层，方法简单、投入成本低、成品质量可控性高、变色均匀性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 变色 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电致变色器件的制备方法，其特征在于，包括：将靶材真空隔离；将第一靶材以氩气掺杂氧气进行反应溅射，在具有第一导电层的衬底上形成电致变色层；在所述电致变色层上形成离子传导层；将第二靶材以氩气掺杂氧气进行反应溅射，在所述离子传导层上形成离子存储层；在所述离子存储层上形成第二导电层。
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