[发明专利]一种基于亚波长光栅结构的多模干涉型偏振不敏感功分器有效
| 申请号： | 201910847838.7 | 申请日： | 2019-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN110618487B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 肖金标;钟宛芩 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/12;G02B6/28 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211102 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于亚波长光栅结构的多模干涉型偏振不敏感功分器，属于硅基光子学领域。该功分器部件包括输入波导(1)、输入锥形波导(2)、多模干涉耦合区(3)、第一输出锥形波导(4)、第二输出锥形波导(5)、第一输出波导(6)、第二输出波导(7)、输入端锥形亚波长光栅结构(8)、亚波长光栅结构(9)。本发明结合了亚波长光栅结构和多模干涉耦合器，利用亚波长光栅结构的折射率可调性以及双折射特性，实现功分器的偏振不敏感。本发明功分器具有插入损耗低、反射损耗低、工作带宽大、结构紧凑、制造方便等优势，且采用绝缘体上硅材料系统，便于与其他器件集成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 波长 光栅 结构 干涉 偏振 敏感 功分器 | ||
【主权项】：
1.一种基于亚波长光栅结构的多模干涉型偏振不敏感功分器，其特征在于：该功分器整体从下至上依次为掩埋氧化层(12)、功分器部件和上包层(13)，上包层(13)覆盖于掩埋氧化层(12)的上表面，功分器部件水平生长于掩埋氧化层(12)的上表面，并被上包层(13)覆盖；/n所述功分器部件包括输入波导(1)、输入锥形波导(2)、多模干涉耦合区(3)、第一输出锥形波导(4)、第二输出锥形波导(5)、第一输出波导(6)、第二输出波导(7)、输入端锥形亚波长光栅结构(8)和亚波长光栅结构(9)；在多模干涉耦合区(3)内部从左至右在中轴线处蚀刻有亚波长光栅结构(9)，多模干涉耦合区(3)的左端与输入锥形波导(2)宽的一端连接，输入锥形波导(2)窄的一端与输入波导(1)连接，多模干涉耦合区(3)的右端分别与第一输出锥形波导(4)宽的一端、第二输出锥形波导(5)宽的一端连接，且第一输出锥形波导(4)和第二输出锥形波导(5)以多模干涉耦合区(3)中轴线为对称轴相互对称布置，第一输出锥形波导(4)窄的一端连接有第一输出波导(6)，第二输出锥形波导(5)窄的一端连接有第二输出波导(7)；/n输入锥形波导(2)内部蚀刻有锥形亚波长光栅结构(8)，锥形亚波长光栅结构(8)宽的一端与亚波长光栅结构(9)相连。/n
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