[发明专利]一种基于二维光子晶体腔体结构的新型MOEMS双轴陀螺仪及其加工方法

摘要

本发明公开了一种基于二维光子晶体腔体结构的新型MOEMS双轴陀螺仪及其加工方法，陀螺仪由上至下依次包括玻璃盖帽、器件层和玻璃衬底，玻璃盖帽包括金属引线、电极和通光孔；器件层包括外框架、位于外框架中心的驱动质量块、驱动检测组件、X轴检测组件、Y轴检测组件、第一、第二驱动电极支撑柱、第一、第二驱动检测电极支撑柱，玻璃衬底包括金属引线和电极。驱动检测组件用于对驱动质量块施加静电力和驱动检测；X轴检测组件和Y轴检测组件分别沿X轴和Y轴方向对称分布于驱动质量块周围，用于检测X轴和Y轴方向的角速度输出。本发明加工工艺简单、成本低且便于批量生产，在单个器件内实现了对双轴的角速度的测量，有着良好的市场前景。

主权项

1.一种基于二维光子晶体腔体结构的新型MOEMS双轴陀螺仪，其特征在于：由上至下依次包括玻璃盖帽、器件层和玻璃衬底，玻璃盖帽和玻璃衬底与器件层通过阳极键合，且玻璃盖帽和玻璃衬底与器件层均电连接；器件层包括支撑外框架、驱动质量块、驱动检测组件、X轴检测组件、Y轴检测组件、第一驱动电极支撑柱、第二驱动电极支撑柱、第一驱动检测电极支撑柱和第二驱动检测电极支撑柱，驱动质量块位于外框架中心位置，驱动检测组件对称分布于驱动质量块上下表面，第一驱动电极支撑柱、第二驱动电极支撑柱、第一驱动检测电极支撑柱和第二驱动检测电极支撑柱分布于驱动质量块四周；驱动检测组件一方面用于使驱动质量块沿Z轴上下振动，另一方面用于检测驱动质量块振动式电容量的变化，实现驱动检测功能；X轴检测组件沿X轴对称分布于驱动质量块两侧，用于检测光强的变化，从而得到X轴方向的角速度输出；Y轴检测组件沿Y轴对称分布于驱动质量块两侧，用于检测光强的变化，从而得到Y轴方向角速度的输出。/n